精密零件加工精度以納米，甚至以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標(biāo)時，超精密零件切削加工方法已不能適應(yīng)，必要借助特種精密零件加工的方法，即應(yīng)用化學(xué)能、電化學(xué)能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的聯(lián)合能，從而去除工件外表的部分原子間的附著、聯(lián)合或晶格變形，以達(dá)到超精密加工的目的。

  在此階段采用大的切削速度，小的進(jìn)給量和切削深度，切除上道工序所留下的精加工余量，使零件表面達(dá)到圖樣的技術(shù)要求。選擇精密零件加工，不僅能有效改善材料品質(zhì)、零件精度，發(fā)揮其機(jī)能，還能使零件的耐用程度大大提高，促使整個機(jī)械的品質(zhì)得到改善。

  精密機(jī)械加工對提高零件的尺寸精度也有好處，所以直接的效果就是可以使得零件達(dá)成互換性，進(jìn)而增加零件的耐磨性和使用壽命。對于精密零部件的加工主要是尺寸方面的要求，比如圓柱直徑是多少，有嚴(yán)格的要求，正負(fù)誤差在規(guī)定要求范圍之內(nèi)才是合格零件，否則都是不合格零件。

  長寬高也有具體嚴(yán)格要求，正負(fù)誤差同樣有規(guī)定，比如一個內(nèi)嵌式圓柱體，如果直徑太大，超過誤差允許范圍內(nèi)，就會造成插不進(jìn)去的情況，如果實際直徑太小，超過誤差允許負(fù)值下限了，就會造成插進(jìn)去太松，不牢固的問題發(fā)生。精密機(jī)械加工，并不是什么材料都可以進(jìn)行精密加工的，比如一些硬度太大的材料如果超過了加工機(jī)件的硬度，有些特殊材料是不適宜精密精密加工的